Grundsätzl. Konzepte/Technologien 2 (Prof. Leonhard Reindl)
Mikroelektronik <-> Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik ist die Erweiterung der Mikroelektronik mit mechanischen, mechatronischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionalitäten
Markt für Mikrosystemtechnik
Markt für Mikrosystemtechnik (in Milliarden $)
Produkte der Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik
Längenskala
Die relative Genauigkeit von Mikrostrukturen
Warum Mikrosystemtechnik?
Sensor Elektronik
Die Vision von Richard Feynman
Erste mikrotechnische Entwicklungen stammen aus den 70er Jahren
Mikrosystemtechnik (1980-2000)
Anwendungsgebiete der Mikrosystemtechnik
Anwendungen der Mikrosystemtechnik
Mikrotechnologie ist die Basis einer Vielzahl von Produkten des modernen täglichen Lebens
Anwendungen in der Medizintechnik
Lab on a Chip
Medizintechnik
Array of Molded Microspectrometers
Diffraction Pattern of the Microspectrometer
Information, Kommunikation und Unterhaltung
Digital Micromirror Device (DMD)
CD Spieler - Flachbildschirm - Schreib /Leseköpfe in Festplatten - Handy
Mikrosystemtechnik in modernen Autos
Mobilität: Mikrotechnologie im KfZ
Mikrotechnologie im KfZ
Saugrohreinspritzung
Technologie
Bulk- Mikromechanik
Luftmassenmesser
Luftmassenmesser
Luftmassenmesser (Messprinzip)
Nachhaltige Entwicklung
Vollständiges Mikrosystem
Schnittstellen am Mikrosystem
3-Dimensionales Beschleunigungssensor-System
Elektronische Nase
Die elektronische Nase für die Lebensmittelindustrie
Was ist Mikrosystemtechnik?
Mikrosystemtechnik und biologische Systeme
Mikrotechnische Komponenten
Drucksensor
Drucksensor
Drucksensor
Drucksensor
Barometer in SMD-Gehäuse
Drucksensoren
Drucksensoren
CMH: High Pressure Sensing Element
Hochdrucksensoren
Airbag System
Beschleunigungssensoren
Beschleunigungssensor (Funktionsprinzip)
Technologie: Oberflächen-Mikromechanik
Beschleunigungssensor: Frontairbag
Beschleunigungssensor: Seitenairbag
Fahrdynamikregelung ESP
Drehratensensoren
Grundlage: Corioliseffekt
Drehratensensor (Funktionsprinzip)
Drehratensensor (Technologie)
Drehratensensor für ESP
Drehratensensor (Gehäuse)
Anwendung: Roll - Over
Drehraten- und Beschleunigungssensoren
Drehratensensor
Drehratensensor
Mikromechanischer Drehratensensor DRS-MM2
Drehratensensor (Gehäuse)
Mikromechanischer Drehratensensor DRS-MM2
Übersicht
Mikrostruktur-Technologien
Was ist BULK-Mikromechanik?
Ätzprofile
KOH-Ätzen
Ursachen der anisotropen Ätzung bei Silizium
Maskierung für das KOH-Ätzen
Grundlagen der Silizium Mikrotechnik
Zeitverlauf beim Ätzen
BULK-Mikromechanik
Strukturen bei vollständiger Unterätzung
Beispiel: Einseitiger Balken in 100 Si
Beispiel: Einseitiger Balken über V-Grube
Beispiel: Zweiseitiger Balken über Ätzgrube
Beispiel: Freistehende Insel in 100 Silizium
Deep Reactive Ion Etching (DRIE-Etching)
Trockengeätzte Silizium-Strukturen
Trockengeätzte Silizium-Bauelemente
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Piezoresistiver Beschleunigungssensor
Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
Beschleunigungssensor-System für Kfz-Anwendung
Mikrostruktur-Technologien
Silizium-Oberflächenmikromechanik
Bulk-Mikromechanik <-> Oberflächenmikromechanik
Beispiele für Oberflächenmikromechanik
Opferschichttechnologie
Prozessfolge Opferschichttechnologie
Prozessfolge Opferschichttechnologie
Probleme der Oberflächenmikromechanik
Sticking
Maßnahmen gegen Sticking
Bosch OMM Foundry: Vereinfachte Übersicht
Funktionsprinzip: Beschleunigungssensor
Anwendungsbeispiel: Beschleunigungssensor
Frontairbag
Beschleunigungssensoren in OMM
Drehratensensor: Details aus dem Layout
TV- und Videoprojektion
Digital Mirror Device (DMD)
Digital Mirror Device (DMD)
Mikrostruktur-Technologien
Abformung
Heißprägen & Spritzgießen
Spritzgießverfahren (Injection Moulding)
Spritzgießmaschine vom Typ Microsystem 50
Spritzgießverfahren: Initialisierungskosten
Spritzgießverfahren (Injection Moulding)
(Heiß-) Prägeverfahren
(Heiß-) Prägeverfahren (Hot-Embossing)
Heißprägemaschine (Eigenbau)
Beispiel: Prägewerkzeuge aus Messing
Beispiel: Abgeformte Linsenstrukturen
Beispiel: Optische Komponenten aus PMMA und COC
Beispiel: Tripelspiegel
Klassische Beispiele von LIGA-Strukturen (1)
LIGA-Spektrometer
VIS Spectrometer
VIS Spectrometer (Anwendungen)
CE-Chip von “Greiner Bio One”
CE-Chip von "Greiner Bio One"
Herstellung der Formeinsätze
LIGA
Prozessabfolge beim LIGA-Verfahren
Herstellung eines Formeinsatz in LIGA-Technik
Prozessabfolge beim LIGA-Verfahren
Röntgenlithographie (X-ray lithography)
Erzeugung von Synchrotronstrahlung
Bilder von Beschleunigern
LIGA-Verfahren
Diffusionsverhältnisse bei der Galvanik
Metallic (Ni) Honeycomb Structure
alternative Herstellung der Formeinsätze: Mikrofräsen (Micromilling)
alternative Herstellung der Formeinsätze: Mikrofräsen (Micromilling)
Mikrofräsen (Micromilling)
Mikrofräsen (Micromilling)
Mikrofräsen (Micromilling)
alternative Herstellung der Formeinsätze: EDM
Funkenerosives Feinstdrahtschneiden (EDM)
EDM - Verfahren
Charmilles Robofil 2020 SI Bearbeitungsbeispiele
Beispiele EDM
Beispiele WEDM
Beispiele ECM
Beispiel ECM
Bild: Mit freundlicher Genehmigung Prof. Dr. L. Reindl (2009)
Die unberechtigte Nutzung ist nicht gestattet.
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Hallo,
mein Name ist Nico Puthussery und ich bin Maschinenbau Student an der Ruhr Universität Bochum. Ich habe zur Zeit eine Veranstaltung namens Werkstoffe der Fertigungstechnik und Mikrotechnik. Die hier gezeigten Sheets sind sehr interessant und greifen viele Aspekte meiner Vorlesung auf. Gibt es diese Sheets als pdf Datei zum downloaden? Können Sie mir bitte solch einen Link bereitstellen? Vielen herzlichen Dank.
MfG