klein, kleiner, nano
Mit freundlicher Genehmigung FLAD & FLAD COMMUNICATION GROUP
Die Dimensionen im Nanokosmos
Weitere Unterabschnitte: Biologie | Mikroskopie | Biotechnologie | Chemie | Physik | Physik 2 | Mikrokosmos | Nanokosmos | Wetter und Klima | Weltraum
Mikrokosmos
Themenskizzen (Mikrokosmos)
Mikrosystemtechnik
Pop-up Fabrication of the Harvard Monolithic Bee (Mobee) – YouTube
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Bild: watdoenwijmetnl
Mikrosystemtechnik
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- Größenordnung von Mikrosystemen
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- Größenordnung von Mikrosystemen
Grundsätzl. Konzepte/Technologien 2 (Leonhard M. Reindl)
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- Mikroelektronik <-> Mikrosystemtechnik
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- Markt für Mikrosystemtechnik
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- Produkte der Mikrosystemtechnik
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- Mikrosystemtechnik
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- Längenskala
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- Die relative Genauigkeit von Mikrostrukturen
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- Warum Mikrosystemtechnik?
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- Die Vision von Richard Feynman
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- Erste mikrotechnische Entwicklungen stammen aus den 70er Jahren
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- Mikrosystemtechnik (1980-2000)
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- Anwendungsgebiete der Mikrosystemtechnik
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- Anwendungen in der Medizintechnik
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- CD Spieler – Flachbildschirm – Schreib /Leseköpfe in Festplatten – Handy
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- Mikrosystemtechnik in modernen Autos
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- Mobilität: Mikrotechnologie im KfZ
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- Mikrotechnologie im KfZ
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- Luftmassenmesser
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- 3-Dimensionales Beschleunigungssensor-System
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- Die elektronische Nase für die Lebensmittelindustrie
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- Technologie: Oberflächen-Mikromechanik
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- Fahrdynamikregelung ESP
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- Anwendung: Roll – Over
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- Übersicht
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- Mikrostruktur-Technologien
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- Was ist BULK-Mikromechanik?
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- Ätzprofile
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- KOH-Ätzen
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- Ursachen der anisotropen Ätzung bei Silizium
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- Maskierung für das KOH-Ätzen
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- Grundlagen der Silizium Mikrotechnik
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- Zeitverlauf beim Ätzen
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- BULK-Mikromechanik
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- Strukturen bei vollständiger Unterätzung
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- Beispiel: Einseitiger Balken in 100 Si
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- Beispiel: Einseitiger Balken über V-Grube
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- Beispiel: Zweiseitiger Balken über Ätzgrube
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- Beispiel: Freistehende Insel in 100 Silizium
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- Deep Reactive Ion Etching (DRIE-Etching)
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- Trockengeätzte Silizium-Strukturen
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- Trockengeätzte Silizium-Bauelemente
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- Beschleunigungssensor in BULK-Mikromechanik
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- Beschleunigungssensor-System für Kfz-Anwendung
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- Mikrostruktur-Technologien
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- Bulk-Mikromechanik <-> Oberflächenmikromechanik
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- Beispiele für Oberflächenmikromechanik
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- Opferschichttechnologie
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- Prozessfolge Opferschichttechnologie
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- Prozessfolge Opferschichttechnologie
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- Probleme der Oberflächenmikromechanik
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- Maßnahmen gegen Sticking
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- Bosch OMM Foundry: Vereinfachte Übersicht
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- Funktionsprinzip: Beschleunigungssensor
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- Anwendungsbeispiel: Beschleunigungssensor
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- Beschleunigungssensoren in OMM
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- Drehratensensor: Details aus dem Layout
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- TV- und Videoprojektion
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- Digital Mirror Device (DMD)
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- Mikrostruktur-Technologien
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- Heißprägen & Spritzgießen
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- Spritzgießverfahren (Injection Moulding)
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- Spritzgießmaschine vom Typ Microsystem 50
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- Spritzgießverfahren: Initialisierungskosten
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- (Heiß-) Prägeverfahren (Hot-Embossing)
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- Klassische Beispiele von LIGA-Strukturen (1)
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- LIGA-Spektrometer
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- VIS Spectrometer (Anwendungen)
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- CE-Chip von “Greiner Bio One”
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- Herstellung eines Formeinsatz in LIGA-Technik
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- Röntgenlithographie (X-ray lithography)
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- Metallic (Ni) Honeycomb Structure
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- alternative Herstellung der Formeinsätze: Mikrofräsen (Micromilling)
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Bild: Mit freundlicher Genehmigung Prof. Dr. L. Reindl (2009)
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