Raum für Präzisionsoptik
Vakuumkammer eines EUV-Beleuchtungssystems für künftige Lithographiesysteme zur Halbleiterproduktion.
Objektive für die Mikrolithographie
Objektive für die Mikrolithographie, ein wesentlicher Produktionsschritt bei der Herstellung von Mikrochips, entwickelt und produziert die Carl Zeiss SMT AG.
Optik der Zukunft
Spiegelsystem für das Muster eines EUV-Belichtungssystems (Extreme Ultra Violet) für kommende Chip-Generationen.