Silizium als mechanisches Material
Silizium-Federn
Warum ausgerechnet Silizium?
Physikalische Eigenschaften im Vergleich
Silizium im Periodensystem
Chemische Daten von Silizium
Chemische Daten von Silizium
Wichtige Siliziumverbindungen
Die drei kubischen Gitter
Kristallstruktur von Silizium
Diamantstruktur (Zinkblende)
Die Tetraeder-Konstruktion des Siliziumkristalls
Siliziumkristall in (100)-Sicht
Siliziumkristall in (110)-Sicht
Siliziumkristall in (111)-Sicht
Standard-Geometrien beim anisotropen Ätzen (I)
Standard-Geometrien beim anisotropen Ätzen (II)
Bild: Mit freundlicher Genehmigung Prof. Dr. L. Reindl (2009)
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